特殊氣體

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C4F6 (4N5)

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CH3F (5N)

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CHF3 (5N)

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C4F8 (5N)

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CH2F2 (5N)

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C4H2F6 (4N)

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CF3I (4N)

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CO2 (4N、5N)

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Xe (5N)

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Kr (5N)

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He (5N)

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準分子雷射氣體