CO2 (4N、5N)

純度

• ≥ 99.99% (4N)、99.999% (5N)

包裝

• 47L、50L

淨重

• 20KG、25KG

詢價

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化學品名稱：二氧化碳
化學式：CO2 (SDS)
化學文摘社登記號碼(CAS.NO)：124-38-9 
分子量：44 g/mol
蒸氣壓：57.3 bar@20℃  
熔點：-56.6 ℃  
沸點：-78.5 ℃

雖然二氧化碳（CO₂）在半導體製造中的使用頻率不如其他氣體，但它在某些特定製程中扮演關鍵角色，如雷射蝕刻、化學氣相沉積、超臨界清洗以及材料加工等。CO₂ 雷射被用於高精度材料去除，而超臨界 CO₂ 清洗技術則提供一種高效且環保的方法，用以去除半導體晶圓表面的污染物。此外，CO₂ 的環境友善特性，也使其成為專業半導體應用中的理想氣體選擇。