C4F8 (5N)

純度

• ≥ 99.999% (5N)

包裝

• 47L

淨重

• 50KG

詢價

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化學品名稱：八氟環丁烷
化學式：C4F8 (SDS)
化學文摘社登記號碼(CAS.NO)：115-25-3  
分子量：200 g/mol
蒸氣壓：2.7 bar@20℃
熔點：-40.2 ℃ 
沸點：-6.4 ℃

C₄F₈（八氟環丁烷）在半導體製造中扮演重要角色，廣泛應用於電漿蝕刻與化學氣相沉積製程。它可用於蝕刻金屬、介電材料及硬遮罩層，同時也能沉積含氟薄膜，提供絕緣與保護功能。憑藉優異的選擇性、高精度加工能力，以及氟化膜沉積特性，C₄F₈ 成為先進製程中不可或缺的關鍵氣體，特別適用於微縮節點的晶片製造。