Xe (5N)

純度

• ≥ 99.999% (5N)

包裝

• 0.44~49L

填充量

• 50L~10000L

詢價

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化學品名稱：氙
化學式：Xe (SDS)
化學文摘社登記號碼(CAS.NO)：7440-63-3 
分子量：131  g/mol
蒸氣壓：1.013 bar@-108℃
熔點：-112 ℃  
沸點：-108 ℃ 

氙氣（Xe）在半導體產業中扮演著重要角色，廣泛應用於電漿蝕刻、離子佈植、光蝕刻（光微影）以及表面清洗等製程。由於其惰性特性及可離子化能力，氙氣非常適合用於高精度的蝕刻與佈植製程。此外，氙氣燈也是先進光蝕刻技術的光源，對於製造更小、更精細的半導體元件至關重要。氙氣的應用不僅提升了製程效率與良率，也促進了現代積體電路技術的進一步發展。