He (5N)

純度
  • ≥ 99.999% (5N)
包裝
  • 47L Cylinder、47L*16 Cylinder Bundle、Tube Trailer
填充量
  • 8.3Sm3、132.8Sm3、4000Sm3
產品詳情

化學品名稱:氦氣
化學式:He (SDS)
化學文摘社登記號碼(CAS.NO):7440-59-7  
分子量:4.0026 g/mol 
熔點:-272.2 ℃ 
沸點:-268.94 ℃

半導體應用

氦氣(He)在半導體產業中扮演多重角色,廣泛應用於冷卻、電漿蝕刻、表面清洗、氣氛控制以及光微影等製程。由於其惰性特性、低密度及低溫特性,氦氣成為半導體製造中不可或缺的氣體。氦氣不僅用於冷卻與氣體傳輸,還能為精密的半導體製程提供穩定的環境。氦氣在冷卻系統、電漿蝕刻及氣氛精確控制中的應用,對提高製程控制的效率與精度具有重要作用,對高品質半導體生產至關重要。

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