He (5N)
純度
包裝
- 47L Cylinder、47L*16 Cylinder Bundle、Tube Trailer
填充量
產品詳情
化學品名稱:氦氣
化學式:He (SDS)
化學文摘社登記號碼(CAS.NO):7440-59-7
分子量:4.0026 g/mol
熔點:-272.2 ℃
沸點:-268.94 ℃
半導體應用
氦氣(He)在半導體產業中扮演多重角色,廣泛應用於冷卻、電漿蝕刻、表面清洗、氣氛控制以及光微影等製程。由於其惰性特性、低密度及低溫特性,氦氣成為半導體製造中不可或缺的氣體。氦氣不僅用於冷卻與氣體傳輸,還能為精密的半導體製程提供穩定的環境。氦氣在冷卻系統、電漿蝕刻及氣氛精確控制中的應用,對提高製程控制的效率與精度具有重要作用,對高品質半導體生產至關重要。
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