化學品名稱：六氟-1,3-丁二烯化學式：C4F6 (SDS)化學文摘社登記號碼CAS：NO:685-63-2分子量：162.03 g/mol蒸氣壓：0.8 bar@20℃熔點：-132℃沸點：6-7 ℃
C₄F₆（六氟丁二烯）主要應用於半導體產業中的蝕刻製程，特別是在微細加工所需的電漿蝕刻工藝中。其獨特的化學性質使其非常適合高精度製造，儘管其相較其他含氟氣體在環境友善性上具有優勢，仍需妥善控制與管理其潛在的環境影響。
