CH2F2 (5N)

純度

• ≥ 99.999% (5N)

包裝

• 47L

淨重

• 30KG

詢價

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化學品名稱：二氟甲烷
化學式：CH2F2 (SDS)
化學文摘社登記號碼(CAS.NO)：75-10-5  
分子量：52 g/mol 
蒸氣壓：13.8 bar@20℃
熔點：-136℃ 
沸點：-51.7 ℃

CH₂F₂（二氟甲烷）是半導體製造中的關鍵氣體之一，主要應用於電漿蝕刻、化學氣相沉積、表面處理及氣體混合製程。它在蝕刻含氟材料、金屬與介電層方面發揮重要作用，同時也可用於沉積含氟薄膜，實現絕緣與保護功能。憑藉優異的蝕刻選擇性、低污染特性，以及穩定的氟化膜形成能力，CH₂F₂ 在現代半導體先進製程中佔有重要地位。