Kr (5N)

純度

• ≥ 99.999% (5N)

包裝

• 49L

填充量

• 10M³

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化學品名稱：氪
化學式：Kr  (SDS)
化學文摘社登記號碼(CAS.NO)：7439-90-9
分子量：83.8 g/mol
熔點：-157.2℃  
沸點：-152.9℃

氪氣（Kr）是半導體製造中的多功能氣體，廣泛應用於電漿蝕刻、離子佈植、薄膜沉積、光微影（光蝕刻）及電漿清洗等製程。由於其惰性特性及能形成重離子的能力，氪氣特別適用於精密蝕刻、離子佈植和薄膜沉積等高精度製程。此外，氪氣燈與氪氣準分子雷射在光微影中有著重要的應用，這些技術使得半導體製程能夠實現更小、更複雜的結構特徵。氪氣的獨特特性為半導體製造過程的效率、精度與品質提供了關鍵支持，對先進半導體元件的發展發揮至關重要的作用。