C4H2F6 (4N)
產品詳情
化學品名稱：(反式)-1,1,1,4,4,4-六氟-2-丁烯
化學式：C4H2F6 (SDS)
化學文摘社登記號碼(CAS.NO)：66711-86-2
分子量：164.05 g/mol
蒸氣壓：1.6 bar@20℃
熔點：<-20 ℃
沸點：7.5 ℃
半導體應用
反式-1,1,1,4,4,4-六氟-2-丁烯（C₄H₂F₆）主要應用於半導體製程，包括蝕刻、化學氣相沉積、薄膜沉積，以及作為氟源氣體。其穩定的化學特性與優異的氟化性，使其在製作低介電常數材料（Low-k）、含氟薄膜與高精度蝕刻製程中扮演關鍵角色。隨著半導體技術日益微縮化與高階化，此類氟系化合物將在高性能晶片與微電子元件的製造中發揮越來越重要的作用。
回上一頁