CHF3 (5N)

純度

• ≥ 99.999% (5N)

包裝

• 47L

淨重

• 32KG

詢價

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化學品名稱：三氟甲烷
化學式：CHF3 (SDS)
化學文摘社登記號碼(CAS.NO)：75-46-7 
分子量：70 g/mol 
蒸氣壓：47.4 bar@25℃
熔點：-155.18 ℃ 
沸點：-82.16 ℃

CHF₃（三氟甲烷）是半導體製造中極為重要的氣體，廣泛應用於電漿蝕刻、化學氣相沉積及先進製程技術中。它主要用於蝕刻介電層、金屬層與低介電常數材料（Low-k），同時也可用於沉積含氟薄膜，以提供絕緣與保護功能。憑藉高選擇性、低污染與精密控制能力，CHF₃ 在先進節點的半導體製造中扮演關鍵角色，是現代晶片生產不可或缺的關鍵材料之一。