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氣體輸送設備 (GD)
我們推出的 GD 系列產品,專為輸送各類特殊氣體而設計,能在恆定壓力與穩定流量下,安全處理包括腐蝕性、毒性、易燃性及惰性氣體等流體。
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液體輸送設備 (LD)
我們推出的 LD 系列產品,可實現前驅體的恆壓連續分配,適用於各類製程需求,涵蓋一般及高介電常數(High-k)前驅體
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卓益集團專注於高潔淨流體輸送設備的研發與製造,並提供特殊氣體、化學品及前驅體等材料,致力於滿足先進半導體製程對高品質與高可靠性的要求。

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