氣體輸送設備 (GD)

自動化
  • 12吋彩色人機介面
  • 符合工業標準的可編程邏輯控制器
製程
  • 雙鋼瓶設計確保製程連續性
安全
  • 通風排氣
  • 緊急遮斷開關
GD100 壓縮和液化氣體輸送系統
系統特色與規格
  • 可供應壓縮與液態特殊氣體
  • 雙鋼瓶設計確保製程連續性
  • 控制器可用於C1D2區域/失效安全自動操作/安全聯鎖裝置/控制箱配置Z-Purge 
  • 頂部警示燈塔可即時顯示設備運行狀態
  • 緊急遮斷開關供緊急狀況下迅速關閉設備
  • Semi S2認證
應用範圍
  • HF, HBr, Cl2, CxFy, C3H6, CHF3, COS, DCS, WF6, SF6, AsH3, PH3, SO2, Si2H6, F2 mixture, GeH4 mixture, CO, CH4, C2H4, MMS mixture, H2 mixture, B2H6 mixture, NO, BCl3, SiH4, CF4, Inert mixtures
GD300 大宗氣體輸送系統
系統特色與規格
  • 流量設計範圍從 50~2000 slpm
  • 系統設計可安全應對易燃、自燃、有毒與氧化性氣體
  • 可選配電阻式、碳纖維式或感應式鋼瓶加熱器
  • 根據氣體類型和流動條件即時控制 J-T 加熱器
  • 加熱器符合IEXC認證
  • 控制器可用於C1D2區域/失效安全自動操作/安全聯鎖裝置/控制箱配置Z-Purge 
  • 頂部警示燈塔可即時顯示設備運行狀態
  • 緊急遮斷開關供緊急狀況下迅速關閉設備
  • Semi S2認證
應用範圍
  • SiH4, NF3, NH3, N2O, PH3, CO2
GD500 超低蒸氣壓材料設計的氣體輸送系統
系統特色與規格
  • 針對負壓氣體設計，最高流量可達6 slpm
  • 雙鋼瓶設計確保製程連續性
  • 由可程式設計邏輯控制器直接控制感應式加熱器
  • 感應式加熱器符合IEXC認證
  • 控制器可用於C1D2區域/失效安全自動操作/安全聯鎖裝置/控制箱配置Z-Purge 
  • 頂部警示燈塔可即時顯示設備運行狀態
  • 緊急遮斷開關供緊急狀況下迅速關閉設備
  • Semi S2認證
應用範圍
  • TSA & 其他超低飽和蒸汽壓氣體
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