液體輸送設備 (LD)

自動化
  • 12吋彩色人機介面
  • 符合工業標準的可編程邏輯控制器
製程
  • 可同時供應多個製程腔體
安全
  • 通風排氣
  • 緊急遮斷開關
  • 超過100%的漏液空間
LD100 配備PFA閥門的液體分配系統
系統特色與規格
  • 系統可與現有鼓泡器進行無縫對接
  • 流體經過路徑均配置PFA 閥門
  • 控制器可用於C1D2區域/失效安全自動操作/安全聯鎖裝置/控制箱配置Z-Purge 
  • 頂部警示燈塔可即時顯示設備運行狀態
  • 緊急遮斷開關供緊急狀況下迅速關閉設備
  • Semi S2認證
應用範圍
  • DCE(Trans-LC), POCl3
LD200 液體分配系統
系統特色與規格
  • 容量小於20L的ALD & CVD前驅體容器
  • 雙製程儲罐設計，確保前驅體的連續供應
  • 控制器可用於C1D2區域/失效安全自動操作/安全聯鎖裝置/控制箱配置Z-Purge 
  • 頂部警示燈塔可即時顯示設備運行狀態
  • 緊急遮斷開關供緊急狀況下迅速關閉設備
  • Semi S2認證
應用範圍
  • TEOS, TEB, BDEAS, HCDS, ATRP, OMCTS, TMCTS, DIS, BTBAS, 4MS, DIPAS, TiCl4, TEPO, TMB, MDEOS, etc.
LD300 大宗原料罐液體分配系統
系統特色與規格
  • 配置>20L的大容量原料罐，應用于ALD & CVD 製程的大流量前驅體材料
  • 可配置雙桶設計確保連續供應
  • 控制器可用於C1D2區域/失效安全自動操作/安全聯鎖裝置/控制箱配置Z-Purge 
  • 頂部警示燈塔可即時顯示設備運行狀態
  • 緊急遮斷開關供緊急狀況下迅速關閉設備
  • Semi S2認證
應用範圍
  • TEOS, MDEOS, ATRP, 4MS, TMA, TCS
LD400 高介電常數前驅體供應系統，配備溶劑吹掃功能
系統特色與規格
  • LD400s 最多可連接 4 個 LD400d
  • 控制器可用於C1D2區域/失效安全自動操作/安全聯鎖裝置/控制箱配置Z-Purge 
  • 頂部警示燈塔可即時顯示設備運行狀態
  • 緊急遮斷開關供緊急狀況下迅速關閉設備
  • Semi S2認證
LD400d 高介電常數前驅體分配單元
  • 分配高介電常數前驅體
  • 溶劑吹掃功能用於更換高介電層前軀體鋼瓶時
  • 透過LDS進行腔體溶劑吹掃作業
LD400s 溶劑分配與廢液收集系統
  • 將溶劑分配至 LDS 進行鋼瓶更換管線清潔
  • 回收來自 LDS 與製程腔體的溶劑吹掃廢液
應用前軀體
  •   TEMAZ / TEMAH / CpZr / CpHf / IPZ235
應用溶劑
  •   Octane / Hexane
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