各类特种气体：腐蚀性气体、毒性气体、易燃气体及惰性气体流体。GD系列产品可以实现恒压恒流精准输送。
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气体输送设备（GD）
气体输送设备（GD）
针对半导体行业通用的及高K前驱体材料，LD系列产品，可以实现恒定压力下的连续稳定输送。
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液体输送设备（LD）
液体输送设备（LD）
根据OEM或不同的半导体需求开发的特殊产品。
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DCE 鼓泡器 (BV100)
DCE 鼓泡器 (BV100)
根据OEM或不同的半导体需求开发的特殊产品。
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TCS 鼓泡器 (BV200)
TCS 鼓泡器 (BV200)