气体输送设备（GD）

自动化
  • 12英寸彩色人机界面
  • 符合工业标准可编程逻辑控制器
工艺设计
  • 双罐设计实现持续供应
安全系统
  • 排气通风系统
  • EMO紧急关机
GD100 压缩及液化气体输送系统
系统特性与规格说明
  • 特种压缩气体及液态气体供应系统
  • 双罐设计实现持续供应
  • C1D2防爆电气系统/失效安全保障机制/防止危险动作的操作联锁/C1D2控制器Z-Purge
  • 设备状态顶灯
  • 紧急关机EMO按钮
  • Semi S2认证
应用范围
  • HF, HBr, Cl2, CxFy, C3H6, CHF3, COS, DCS, WF6, SF6, AsH3, PH3, SO2, Si2H6, F2 mixture, GeH4 mixture, CO, CH4, C2H4, MMS mixture, H2 mixture, B2H6 mixture, NO, BCl3, SiH4, CF4, Inert mixtures
GD300 大宗气体输送系统
系统特性与规格说明
  • 设计流量范围：500-2000SLPM（标准升/分钟）
  • 易燃/自燃/毒性/氧化性气体安全处理
  • 可选配电阻式、碳纤维式或感应式钢瓶加热器
  • 基于气体类型和流量条件的实时J-T加热控制
  • 加热器符合IEXC认证
  • C1D2防爆电气系统/失效安全保障机制/防止危险动作的操作联锁/C1D2控制器Z-Purge
  • 设备状态顶灯
  • 紧急关机EMO按钮
  • Semi S2认证
应用范围
  • SiH4, NF3, NH3, N2O, PH3, CO2
GD500 超低蒸气压材料专用气体输送系统
系统特性与规格说明
  • 设计的最大流量为6标准升每分钟，适用于亚大气压气体工况
  • 双罐设计实现持续供应
  • 感应加热系统由主PLC直接控制
  • 感应式加热器符合IEXC认证
  • C1D2防爆电气系统/失效安全保障机制/防止危险动作的操作联锁/C1D2控制器Z-Purge
  • 设备状态顶灯
  • 紧急关机EMO按钮
  • Semi S2认证
应用范围
  • TSA & 其他超低饱和蒸汽压气体
回到上一页