液体输送设备（LD）

自动化
  • 12英寸彩色的人机界面
  • 符合工业标准可编程逻辑控制器
工艺设计
  • 多工艺腔室供应
安全系统
  • 排气通风
  • EMO紧急关机
  • 超过100%泄露控制
LD100 配备PFA阀门的液体分配系统
系统特性与规格说明
  • 与现有工具鼓泡器无缝连接，满足补液要求
  • PFA组件应用于所有的湿润路径
  • C1D2防爆电气系统/失效安全保障机制/防止危险动作的操作联锁/C1D2控制器Z-Purge
  • 设备状态顶灯
  • 紧急关机EMO按钮
  • Semi S2认证
应用范围
  • DCE(Trans-LC), POCl3
LD200 液体输送系统
系统特性与规格说明
  • ALD&CVD前驱体罐<20L
  • 双罐设计实现持续供应
  • C1D2防爆电气系统/失效安全保障机制/防止危险动作的操作联锁/C1D2控制器Z-Purge
  • 设备状态顶灯
  • 紧急关机EMO按钮
  • Semi S2认证
应用范围
  • TEOS, TEB, BDEAS, HCDS, ATRP, OMCTS, TMCTS, DIS, BTBAS, 4MS, DIPAS, TiCl4, TEPO, TMB, MDEOS, etc.
LD300 大容量源罐液体输送系统
系统特性与规格说明
  • ALD&CVD前驱体LD大容量罐>20L
  • 双罐设计实现持续供应
  • C1D2防爆电气系统/失效安全保障机制/防止危险动作的操作联锁/C1D2控制器Z-Purge
  • 设备状态顶灯
  • 紧急关机EMO按钮
  • Semi S2认证
应用范围
  • TEOS, MDEOS, ATRP, 4MS, TMA, TCS
LD400 High-K前驱体输送系统（带溶剂吹扫功能）
系统特性与规格说明
  • LD400s最多可连接4台LD400d
  • C1D2防爆电气系统/失效安全保障机制/防止危险动作的操作联锁/C1D2控制器Z-Purge
  • 设备状态顶灯
  • 紧急关机EMO按钮
  • Semi S2认证
LD400d High-k前驱体分配单元
  • high-k precursor精密分配
  • 前驱体罐箱更换时自动吹扫
  • 通过LDS系统注入溶剂进行腔室冲洗
LD400s 溶剂分配与废液回收
  • 罐箱更换时，向LDS分配溶剂进行管道清洗
  • LDS及腔室冲洗废液回收
应用前驱体
  •   TEMAZ / TEMAH / CpZr / CpHf / IPZ235
应用溶剂
  •   Octane / Hexane
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