He (5N)
产品细节
化学品名称：氦气
化学式：He (SDS)
CAS登记号：7440-59-7
分子量：4.0026 g/mol
熔点：-272.2 ℃
沸点：-268.94 ℃
半导体行业应用
氦气（He）在半导体工业中扮演着多维度关键角色，主要应用于冷却系统、等离子体刻蚀、表面清洗、环境控制及光刻等核心领域。其惰性特性、低密度及超低温性质使其成为半导体制造不可或缺的工艺气体。氦气不仅用于超低温冷却和特种气体输送，更能为精密半导体加工提供稳定环境。氦气在晶圆冷却系统、等离子体工艺控制及精密环境调控等方面的独特作用，使其成为保障半导体制造高精度与高效率的核心要素，对高质量半导体生产具有重要价值。
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