Kr (5N)
产品细节
化学品名称：氪气
化学式：Kr (SDS)
CAS登记号：7439-90-9
分子量：83.8 g/mol
熔点：-157.2℃
沸点：-152.9℃
半导体行业应用
氪气作为多功能关键工艺气体，在半导体制造中主要应用于等离子体刻蚀、离子注入、薄膜沉积、光刻及等离子清洗等核心制程。其惰性特性和重离子生成能力，使其成为精密刻蚀、离子掺杂及薄膜沉积的理想工艺气体。此外，氪灯和准分子激光器（KrF 248nm）广泛应用于光刻技术，为制造更小尺寸、更复杂结构的半导体器件提供关键光源支持。氪气凭借其独特物化特性，显著提升了半导体制造的工艺精度与生产效率，对先进半导体器件的研发具有不可替代的作用。
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