准分子激光气体

产品	技术规格书	包装规格
10PPMXe/3.5%Ar/Ne Mixture	5N/6N/5N	49L
0.95%F2/1.25%Kr/Ne Mixture	3N/5N/5N	49L
1.25%Kr/Ne Mixture	5N/5N	49L
0.95%F2/3.5%Ar/Ne	3N/6N/5N	49L

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准分子激光气体作为半导体制造的核心工艺材料，主要应用于光刻、激光微加工、材料处理及薄膜沉积等关键制程。其产生的精准高能紫外光源，为先进半导体器件的高密度精细图形制备提供了不可或缺的技术支持。随着半导体技术向更小制程节点和更复杂架构发展，准分子激光技术将持续在提升制程精度与器件性能方面发挥不可替代的作用。