Xe (5N)

純度

• ≥ 99.999% (5N)

包装规格   

• 0.44~49L

填充量

• 50L~10000L

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化学品名称：氙气
化学式：Xe (SDS)
CAS登记号：7440-63-3 
分子量：131  g/mol
蒸汽压：1.013 bar@-108℃
熔点：-112 ℃  
沸点：-108 ℃ 

氙气（Xe）在半导体工业中具有重要作用，尤其应用于等离子体刻蚀、离子注入、光刻和表面清洗等关键制程。其惰性特性与电离能力使其成为精密刻蚀和离子注入工艺的理想气体。此外，氙灯为先进光刻技术提供光源，这对制造更小尺寸、更高精度的半导体器件至关重要。氙气在半导体制造中的应用显著提升了工艺效率与产品质量，有力推动了现代集成电路技术的发展。