CO2 (4N、5N)

純度

• ≥ 99.99% (4N)、99.999% (5N)

包装规格   

• 47L、50L

净重        

• 20KG、25KG

询价

上一个产品 下一个产品

化学品名称：二氧化碳
化学式：CO2 (SDS)
CAS登记号：124-38-9 
分子量：44 g/mol
蒸汽压：57.3 bar@20℃  
熔点：-56.6 ℃  
沸点：-78.5 ℃

尽管二氧化碳（CO₂）在半导体制造中的使用不如其他气体普遍，但它在激光刻蚀、化学气相沉积（CVD）、超临界清洗和材料处理等特定工艺中发挥着关键作用。CO₂激光器可实现高精度材料去除，而超临界CO₂清洗技术则为晶圆污染物去除提供了一种高效环保的解决方案。此外，CO₂的环保特性使其成为半导体特殊制程的理想选择。