C4H2F6 (4N)

純度

• ≥ 99.99% (4N)

包装规格

• 47L

净重        

• 50KG

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化学品名称：(E)-1,1,1,4,4,4-六氟-2-丁烯
化学式：C4H2F6 (SDS)
CAS登记号：66711-86-2  
分子量：164.05 g/mol
蒸汽压：1.6 bar@20℃
熔点：<-20 ℃ 
沸点：7.5 ℃  

(E)-1,1,1,4,4,4-六氟-2-丁烯（C2H2F6）作为关键工艺气体，主要应用于半导体制造的刻蚀、化学气相沉积（CVD）、薄膜沉积等制程环节，并作为优质氟源使用。该化合物凭借其独特的氟化学特性及稳定的化学行为，在低介电常数材料制备、氟基薄膜沉积及精密刻蚀等关键工艺中发挥着不可替代的作用。随着半导体技术的持续演进，此类含氟化合物将在高性能芯片与微电子器件的制造过程中扮演愈发重要的角色。