CH2F2 (5N)

純度

• ≥ 99.999% (5N)

包装规格   

• 47L

净重 

• 30KG

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化学品名称：二氟甲烷
化学式：CH2F2 (SDS)
CAS登记号：75-10-5  
分子量：52 g/mol 
蒸气压：13.8 bar@20℃
熔点：-136℃ 
沸点：-51.7 ℃

二氟甲烷（CH2F2）是半导体制造领域的重要工艺气体，主要应用于等离子体刻蚀、化学气相沉积（CVD）、表面处理及混合气体配置。该气体在氟化物、金属及介质层的刻蚀加工中发挥关键作用，同时可用于沉积含氟功能薄膜。凭借其高刻蚀选择性、低污染特性以及优异的氟基成膜能力，CH2F2已成为现代半导体制程中不可或缺的气体原料。