C4F8 (5N)

純度

• ≥ 99.999% (5N)

包装规格

• 47L

净重 

• 50KG

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化学品名称：八氟环丁烷
化学式：C4F8 (SDS)
CAS登记号：115-25-3  
分子量：200 g/mol
蒸气压： 2.7 bar@20℃
熔点：-40.2 ℃ 
沸点：-6.4 ℃

八氟环丁烷（C4F8）在半导体制造中具有重要作用，主要应用于等离子体刻蚀和化学气相沉积（CVD）工艺。该气体既可用于金属、介质层和硬掩模的刻蚀加工，又能沉积具有绝缘保护特性的氟基薄膜。凭借其高选择性、精密控制特性以及优异的成膜能力，C4F8已成为先进半导体器件制造的关键工艺气体，尤其在更小制程节点的应用中表现突出。