CHF3 (5N)

純度

• ≥ 99.999% (5N)

包装规格

• 47L

净重

• 32KG

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化学品名称：三氟甲烷
化学式：CHF3 (SDS)
CAS登记号：75-46-7 
分子量：70 g/mol 
蒸气压：47.4 bar@25℃
熔点：-155.18 ℃ 
沸点：-82.16 ℃

三氟甲烷（CHF3）是半导体制造中的关键工艺气体，主要应用于等离子体刻蚀、化学气相沉积及先进制程技术。该气体既可用于介电层、金属及低k材料的刻蚀加工，又能沉积氟基绝缘保护薄膜。其特有的高选择性、低污染和精密控制特性，使其成为先进节点半导体器件制造中不可或缺的工艺气体，尤其是在先进制程节点。