CH3F (5N)

纯度 
  • ≥ 99.999% (5N)
包装规格
  • 47L
净重
  • 15KG
产品细节

化学品名称:氟化甲基
化学式:CH3F (SDS)
CAS登记号:593-53-3
分子量:34 g/mol
蒸汽压:33 bar@20℃
熔点:-142℃  
沸点:-77.5℃   

半导体行业应用

CH3F(氟甲烷)主要应用于半导体行业的刻蚀、化学气相沉积、混合气体配置及表面处理工艺。由于其具有高选择性和低污染的特性,CH3F成为半导体加工中重要的气体源,尤其适用于精密加工和高精度控制领域。

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