C4F6 (4N5)

纯度

• ≥ 99.995% (4N5)

包装规格

• 47L

净重

• 45KG

询价

下一个产品

化学品名称：六氟-1,3-丁二烯
化学式：C4F6 (SDS)
CAS登记号：NO:685-63-2
分子量：162.03 g/mol
蒸气压：0.8 bar@20℃
熔点：-132℃
沸点：6-7 ℃

C4F6（六氟-1,3-丁二烯）主要应用于半导体行业的刻蚀工艺，尤其适用于等离子体刻蚀微细加工。其化学特性使其成为高精度制造的理想选择，相较于其他氟化气体，C4F6被认为是一种更环保的替代方案，但在实际应用中管控其对环境的影响仍需关注。